4 nti 6 nti 8 nti SiC Crystal Growth Rauv Rau CVD Txheej Txheem

Kev Piav Qhia Luv:

XKH lub tshuab ua kom cov kua siv lead ua kua siv ...

Cov yam ntxwv

Txoj Cai Ua Haujlwm

Lub hauv paus ntsiab lus ntawm peb lub CVD system yog thermal decomposition ntawm silicon-muaj (piv txwv li, SiH4) thiab carbon-muaj (piv txwv li, C3H8) precursor gases ntawm qhov kub siab (feem ntau 1500-2000 ° C), tso SiC ib leeg crystals rau ntawm substrates los ntawm cov tshuaj lom neeg-theem roj. Cov thev naus laus zis no yog qhov tshwj xeeb tshaj yog rau kev tsim cov khoom siv high-purity (> 99.9995%) 4H / 6H-SiC ib leeg crystals nrog qhov tsis zoo tsawg (<1000 / cm²), ua tau raws li cov khoom siv nruj rau cov khoom siv hluav taws xob thiab RF li. Los ntawm kev tswj hwm qhov tseeb ntawm cov roj sib xyaw, qhov nrawm ntws thiab qhov kub thiab txias, lub kaw lus ua rau muaj kev tswj hwm qhov tseeb ntawm crystal conductivity hom (N / P hom) thiab resistivity.

Cov Hom Txheej Txheem thiab Cov Txheej Txheem Kev Siv

Hom Txheej Txheem	Kub thiab txias	Cov Nta Tseem Ceeb	Cov ntawv thov
CVD Kub Siab	1500-2300°C	Graphite induction cua sov, ± 5 ° C kub sib xws	Kev loj hlob ntawm SiC siv lead ua ntau
CVD kub-filament	800-1400°C	Tungsten filament cua sov, 10-50μm / h deposition tus nqi	SiC tuab epitaxy
VPE CVD	1200-1800°C	Kev tswj kub ntau thaj tsam, > 80% kev siv roj	Kev tsim khoom loj ntawm epi-wafer
PECVD	400-800°C	Plasma txhim kho, 1-10μm / h deposition tus nqi	Cov yeeb yaj kiab nyias nyias SiC uas tsis kub heev

Cov Yam Ntxim Saib Tseem Ceeb

1. Kev Tswj Kub Siab Tshaj Plaws
Lub cub tawg muaj lub tshuab cua sov ntau thaj chaw uas muaj peev xwm tswj tau qhov kub txog li 2300 ° C nrog ± 1 ° C sib npaug thoob plaws hauv chav loj hlob. Kev tswj hwm cua sov kom raug no yog ua tiav los ntawm:
12 thaj chaw cua sov tswj tau ywj pheej.
Kev saib xyuas thermocouple ntxiv (Hom C W-Re).
Cov txheej txheem kho cov thermal profile tiag tiag.
Cov phab ntsa hauv chav dej txias rau kev tswj hwm thermal gradient.

2. Kev Xa Roj thiab Kev Sib Tov Tshuab
Peb lub tshuab faib roj tshwj xeeb ua kom muaj kev sib xyaw ua ntej zoo tshaj plaws thiab kev xa khoom zoo ib yam:
Cov khoom siv tswj hwm huab hwm coj nrog qhov tseeb ± 0.05sccm.
Manifold txhaj roj ntau qhov.
Kev soj ntsuam cov pa roj hauv qhov chaw (FTIR spectroscopy).
Kev them nyiaj tsis siv neeg thaum lub sijhawm loj hlob.

3. Kev Txhim Kho Zoo ntawm Crystal
Lub kaw lus suav nrog ntau yam kev tsim kho tshiab los txhim kho qhov zoo ntawm siv lead ua:
Lub thawv substrate tig tau (0-100rpm programmable).
Kev siv tshuab tswj ciam teb siab heev.
Lub kaw lus saib xyuas qhov tsis zoo hauv qhov chaw (UV laser scattering).
Kev them nyiaj rau kev ntxhov siab thaum lub sijhawm loj hlob.

4. Kev Tswj Xyuas thiab Kev Tswj Xyuas Txheej Txheem
Kev ua tiav daim ntawv qhia ua zaub mov tsis siv neeg tag nrho.
Kev txhim kho qhov kev loj hlob ntawm lub sijhawm tiag tiag AI.
Kev saib xyuas thiab kuaj mob ntawm chaw deb.
1000+ cov ntaub ntawv teev cia (khaws cia rau 5 xyoos).

5. Kev Nyab Xeeb thiab Kev Ntseeg Siab
Triple-redundant kev tiv thaiv kub dhau.
Lub kaw lus ntxuav thaum muaj xwm txheej ceev tsis siv neeg.
Kev tsim qauv uas ntsuas tau los ntawm kev av qeeg.
98.5% kev lav phib xaub.

6. Kev Tsim Kho Kom Loj Hlob Tau
Kev tsim qauv modular tso cai rau kev txhim kho peev xwm.
Tau tshaj nrog 100mm txog 200mm wafer qhov ntau thiab tsawg.
Txhawb nqa ob qho tib si ntsug thiab kab rov tav.
Cov khoom hloov pauv sai rau kev txij nkawm.

7. Kev Siv Hluav Taws Xob Zoo
Siv hluav taws xob tsawg dua 30% piv rau cov txheej txheem sib piv.
Lub kaw lus rov qab cua sov ntes tau 60% ntawm cov cua sov pov tseg.
Cov txheej txheem siv roj zoo tshaj plaws.
Cov kev cai ntawm LEED-ua raws li qhov chaw.

8. Kev Siv Tau Ntau Yam Khoom
Loj hlob txhua hom SiC polytypes loj (4H, 6H, 3C).
Txhawb nqa ob qho tib si conductive thiab semi-insulating variants.
Haum rau ntau yam kev siv tshuaj doping (N-hom, P-hom).
Sib xws nrog lwm cov precursors (piv txwv li, TMS, TES).

9. Kev Ua Haujlwm ntawm Lub Tshuab Nqus Tsev
Lub hauv paus siab: <1 × 10⁻⁶ Torr
Tus nqi xau: <1 × 10⁻⁹ Torr · L / sec
Kev nrawm ntawm kev siv twj: 5000L/s (rau SiH₄)

Kev tswj lub siab tsis siv neeg thaum lub voj voog loj hlob
Cov lus qhia txog kev siv tshuab no qhia txog peb lub peev xwm los tsim cov khoom siv SiC uas zoo tshaj plaws thiab muaj txiaj ntsig zoo tshaj plaws hauv kev tshawb fawb nrog kev sib xws thiab cov txiaj ntsig zoo tshaj plaws hauv kev lag luam. Kev sib xyaw ua ke ntawm kev tswj hwm qhov tseeb, kev saib xyuas siab heev, thiab kev tsim kho kom zoo ua rau lub kaw lus CVD no yog qhov kev xaiv zoo tshaj plaws rau kev tshawb fawb thiab kev tsim khoom ntau hauv cov khoom siv hluav taws xob, cov khoom siv RF, thiab lwm yam kev siv semiconductor siab heev.

Cov Txiaj Ntsig Tseem Ceeb

1. Kev Loj Hlob Crystal Zoo Tshaj Plaws
• Qhov ceev ntawm qhov tsis zoo tsawg li <1000/cm² (4H-SiC)
• Kev sib npaug ntawm cov tshuaj doping <5% (6-nti wafers)
• Kev ntshiab ntawm cov siv lead ua >99.9995%

2. Muaj Peev Xwm Tsim Khoom Loj
• Txhawb nqa kev loj hlob ntawm cov wafer txog li 8-nti
• Txoj kab uas hla sib npaug > 99%
• Kev hloov pauv ntawm qhov tuab <±2%

3. Kev Tswj Xyuas Txheej Txheem Tseeb
• Kev tswj qhov kub thiab txias raug ±1°C
• Kev tswj cov roj ntws raug ±0.1sccm
• Kev tswj qhov siab raug ±0.1Torr

4. Kev Siv Hluav Taws Xob Zoo
• Siv hluav taws xob tau zoo dua 30% dua li cov txheej txheem ib txwm muaj
• Kev loj hlob sai txog li 50-200μm/teev
• Lub sijhawm ua haujlwm ntawm cov khoom siv >95%

Cov Ntawv Thov Tseem Ceeb

1. Cov Khoom Siv Hluav Taws Xob
6-nti 4H-SiC substrates rau 1200V+ MOSFETs/diodes, txo qhov kev poob hloov pauv los ntawm 50%.

2. Kev Sib Txuas Lus 5G
Cov khoom siv SiC semi-insulating (resistivity >10⁸Ω·cm) rau cov chaw nres tsheb PAs, nrog rau kev poob ntawm kev ntxig <0.3dB ntawm >10GHz.

3. Cov Tsheb Siv Hluav Taws Xob Tshiab
Cov qauv fais fab SiC qib tsheb txuas ntxiv EV ntau ntxiv los ntawm 5-8% thiab txo lub sijhawm them los ntawm 30%.

4. Cov Inverters PV
Cov khoom siv uas tsis muaj qhov tsis zoo ua rau muaj kev hloov pauv ntau dua 99% thaum txo qhov loj ntawm lub kaw lus los ntawm 40%.

Cov Kev Pabcuam ntawm XKH

1. Kev Pabcuam Kho Kom Haum
Cov kab ke CVD 4-8 nti uas tsim tshwj xeeb.
Txhawb kev loj hlob ntawm 4H/6H-N hom, 4H/6H-SEMI insulating hom, thiab lwm yam.

2. Kev Txhawb Nqa Txog Kev Txawj Ntse
Kev cob qhia txog kev ua haujlwm thiab kev ua kom zoo dua qub.
Cov lus teb txog kev txawj ntse 24/7.

3. Kev daws teeb meem ua tiav
Cov kev pabcuam xaus-rau-kawg los ntawm kev teeb tsa mus rau kev lees paub cov txheej txheem.

4. Kev Muab Khoom Siv
Muaj 2-12 nti SiC substrates/epi-wafers.
Txhawb nqa 4H/6H/3C polytypes.

Cov yam sib txawv tseem ceeb suav nrog:
Muaj peev xwm loj hlob txog li 8-nti siv lead ua.
Kev loj hlob sai dua 20% piv rau qhov nruab nrab ntawm kev lag luam.
98% kev ntseeg siab ntawm lub kaw lus.
Tag nrho cov pob khoom tswj hwm ntse.