6 nti SiC Epitaxiy wafer N / P hom txais kev hloov kho

Cov txheej txheem npaj ntawm silicon carbide epitaxial wafer yog ib txoj kev siv Chemical Vapor Deposition (CVD) thev naus laus zis. Cov hauv qab no yog cov ntsiab cai tseem ceeb thiab cov kauj ruam npaj:

Txoj cai kev siv tshuab:

Kev Tso Pa Tshuaj Lom Zem: Siv cov roj av raw hauv theem roj, nyob rau hauv cov xwm txheej tshwj xeeb, nws raug rhuav tshem thiab tso rau ntawm lub substrate los tsim cov zaj duab xis nyias xav tau.

Cov tshuaj tiv thaiv roj-theem: Los ntawm pyrolysis lossis cracking reaction, ntau yam roj raw khoom hauv cov roj theem raug hloov pauv hauv cov tshuaj hauv chav tshuaj tiv thaiv.

Cov kauj ruam ntawm kev npaj:

Kev kho cov khoom siv: Cov khoom siv yog raug rau kev ntxuav qhov chaw thiab kev kho ua ntej kom ntseeg tau tias qhov zoo thiab crystallinity ntawm epitaxial wafer.

Kev debugging chamber tshuaj tiv thaiv: kho qhov kub thiab txias, siab thiab ntws ntawm lub chamber tshuaj tiv thaiv thiab lwm yam kev ntsuas kom ntseeg tau tias muaj kev ruaj khov thiab kev tswj hwm ntawm cov xwm txheej tshuaj tiv thaiv.

Kev muab cov khoom siv raw: muab cov khoom siv roj av uas xav tau rau hauv chav tshuaj tiv thaiv, sib tov thiab tswj tus nqi ntws raws li qhov xav tau.

Cov txheej txheem tshuaj tiv thaiv: Los ntawm kev ua kom sov lub chamber tshuaj tiv thaiv, cov khoom noj khoom haus gaseous dhau los ua cov tshuaj tiv thaiv hauv lub chamber los tsim cov nyiaj tso cia xav tau, piv txwv li silicon carbide zaj duab xis.

Txias thiab tshem tawm: Thaum kawg ntawm qhov kev ua tshuaj, qhov kub thiab txias maj mam txo qis kom txias thiab khov cov khoom tso rau hauv chav ua tshuaj.

Epitaxial wafer annealing thiab post-processing: cov epitaxial wafer uas tau tso tseg yog annealed thiab post-processed los txhim kho nws cov khoom hluav taws xob thiab kho qhov muag.

Cov kauj ruam tshwj xeeb thiab cov xwm txheej ntawm cov txheej txheem npaj silicon carbide epitaxial wafer yuav txawv nyob ntawm cov khoom siv thiab cov kev xav tau tshwj xeeb. Qhov saum toj no tsuas yog cov txheej txheem dav dav thiab cov hauv paus ntsiab lus, kev ua haujlwm tshwj xeeb yuav tsum tau kho thiab ua kom zoo dua raws li qhov xwm txheej tiag tiag.