Cov Khoom Siv Txiav Wafer Ring Tsis Siv Neeg Tag Nrho Qhov Loj Ua Haujlwm 8inch / 12inch Wafer Ring Txiav

Kev Piav Qhia Luv:

XKH tau tsim ib lub tshuab txiav ntug wafer uas ua haujlwm tau zoo heev, uas yog ib qho kev daws teeb meem zoo heev rau cov txheej txheem tsim khoom semiconductor pem hauv ntej. Cov khoom siv no muaj cov thev naus laus zis tshiab multi-axis synchronous control thiab muaj lub tshuab spindle uas ruaj khov (qhov ceev tshaj plaws: 60,000 RPM), uas ua rau kev txiav ntug raug thiab txiav tau zoo txog li ±5μm. Lub tshuab no ua haujlwm tau zoo heev nrog ntau yam khoom siv semiconductor, suav nrog:
1. Silicon wafers (Si): Haum rau kev ua ntug ntawm 8-12 nti wafers;
2. Cov khoom siv sib xyaw ua ke: Cov khoom siv semiconductor tiam thib peb xws li GaAs thiab SiC;
3. Cov khoom siv tshwj xeeb: Cov khoom siv Piezoelectric wafers suav nrog LT / LN;

Tus qauv tsim modular txhawb kev hloov pauv sai ntawm ntau yam khoom siv xws li cov hniav pob zeb diamond thiab cov taub hau txiav laser, nrog kev sib raug zoo tshaj cov qauv kev lag luam. Rau cov kev xav tau tshwj xeeb, peb muab cov kev daws teeb meem dav dav suav nrog:
· Cov khoom siv txiav tshwj xeeb
· Cov kev pabcuam ua tiav raws li koj xav tau
· Cov kev daws teeb meem kev ua kom zoo dua ntawm cov txheej txheem

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Cov yam ntxwv

Cov kev tsis sib xws

Cov Qauv	Chav tsev	Cov Lus Qhia Tshwj Xeeb
Qhov Loj Tshaj Plaws ntawm Cov Khoom Siv	mm	ø12"
Lub spindle	Kev teeb tsa	Ib lub ntxaiv
	Ceev	3,000–60,000 rpm
	Lub zog tso zis	1.8 kW (2.4 xaiv tau) ntawm 30,000 feeb⁻¹
	Max Blade Dia.	Ø58 hli
X-Axis	Txiav Ntau Yam	310 hli
Y-Axis	Txiav Ntau Yam	310 hli
	Kauj Ruam Nce	0.0001 hli
	Kev Ntsuas Qhov Chaw	≤0.003 hli/310 hli, ≤0.002 hli/5 hli (ib qho yuam kev)
Z-Axis	Kev daws teeb meem ntawm kev txav mus los	0.00005 hli
Z-Axis	Rov ua dua tau	0.001 hli
θ-Axis	Kev Tig Siab Tshaj Plaws	380 degree
Hom ntxaiv		Ib lub spindle, nruab nrog lub hniav tawv rau kev txiav lub nplhaib
Kev Txiav Nplhaib Kom Tseeb	μm	±50
Qhov Tseeb ntawm Wafer Positioning	μm	±50
Kev Ua Haujlwm Ib Leeg-Wafer	feeb/wafer	8
Kev Ua Haujlwm Zoo ntawm Multi-Wafer		Txog li 4 lub wafers ua tiav tib lub sijhawm
Qhov Hnyav ntawm Khoom Siv	kg	≈3,200
Qhov Loj ntawm Cov Khoom Siv (W × D × H)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

Txoj Cai Ua Haujlwm

Lub kaw lus ua tiav qhov kev ua tau zoo tshaj plaws los ntawm cov thev naus laus zis tseem ceeb no:

1. Lub Tshuab Tswj Xyuas Kev Txawj Ntse:
· Kev tsav tsheb linear siab (qhov tseeb rov ua dua: ± 0.5μm)
· Kev tswj hwm sib dhos ua ke rau-axis txhawb nqa kev npaj txoj kev nyuaj
· Cov txheej txheem tswj kev co tiag tiag kom ntseeg tau tias kev txiav ruaj khov

2. Kev Tshawb Fawb Txog Kev Ntsuas Siab Tshaj Plaws:
· Lub sensor siab laser 3D sib xyaw ua ke (qhov tseeb: 0.1μm)
· Kev pom kev zoo CCD siab (5 megapixels)
· Module tshuaj xyuas zoo hauv online

3. Txheej Txheem Ua Haujlwm Tag Nrho:
· Tsis siv neeg thauj khoom/tso tawm (FOUP tus qauv interface sib xws)
· Lub kaw lus txheeb xyuas ntse
· Chav ntxuav kaw-voj (kev huv: Chav Kawm 10)

Cov Ntawv Thov Ib Txwm Muaj

Cov khoom siv no muab txiaj ntsig zoo rau ntau yam kev siv hauv kev tsim khoom semiconductor:

Daim Ntawv Thov	Cov Khoom Siv Txheej Txheem	Cov Kev Zoo ntawm Kev Siv Tshuab
Kev Tsim Khoom IC	8/12" Silicon Wafers	Txhim kho kev sib dhos ntawm lithography
Cov Khoom Siv Fais Fab	SiC/GaN Wafers	Tiv thaiv cov qhov tsis zoo ntawm ntug
Cov Sensors MEMS	SOI Wafers	Xyuas kom meej tias cov cuab yeej ntseeg tau
Cov Khoom Siv RF	GaAs Wafers	Txhim kho kev ua haujlwm siab zaus
Kev Ntim Khoom Siab Tshaj Plaws	Cov Wafers Uas Rov Ua Dua Tshiab	Ua kom cov khoom ntim khoom ntau ntxiv

Cov yam ntxwv

1. Plaub-chaw nres tsheb teeb tsa rau kev ua haujlwm siab;
2. Ruaj khov TAIKO lub nplhaib debonding thiab tshem tawm;
3. Kev sib raug zoo nrog cov khoom siv tseem ceeb;
4. Kev siv tshuab sib dhos ua ke ntawm ntau txoj kab sib dhos ua kom ntseeg tau tias qhov txiav ntug raug;
5. Kev ua haujlwm tsis siv neeg tag nrho ua rau cov nqi zog ua haujlwm tsawg dua;
6. Kev tsim kho lub rooj ua haujlwm tshwj xeeb ua rau kev ua tiav ruaj khov ntawm cov qauv tshwj xeeb;

Cov Haujlwm

1. Lub kaw lus nrhiav kom pom lub nplhaib poob;
2. Kev ntxuav lub rooj ua haujlwm tsis siv neeg;
3. Lub kaw lus UV debonding ntse;
4. Cov ntaub ntawv teev cia ua haujlwm;
5. Kev koom ua ke ntawm lub Hoobkas automation module;

Kev Cog Lus Pabcuam

XKH muab cov kev pabcuam txhawb nqa tag nrho, uas tsim los kom ua kom cov khoom siv ua haujlwm tau zoo tshaj plaws thiab ua haujlwm tau zoo thoob plaws koj txoj kev tsim khoom.
1. Kev Pabcuam Kho Kom Haum
· Kev Kho Khoom Siv Uas Tsim Los Rau Koj: Peb pab neeg ua haujlwm engineering koom tes nrog cov neeg siv khoom kom zoo dua cov kev teeb tsa ntawm lub kaw lus (kev txiav ceev, kev xaiv hniav, thiab lwm yam) raws li cov khoom siv tshwj xeeb (Si/SiC/GaAs) thiab cov txheej txheem xav tau.
· Kev Txhawb Nqa Kev Txhim Kho Cov Txheej Txheem: Peb muab cov qauv ua nrog cov ntawv qhia txog kev tshuaj xyuas ntxaws ntxaws suav nrog kev ntsuas qhov ntxhib ntawm ntug thiab kev kos duab qhov tsis zoo.
· Kev Sib Koom Tes Tsim Khoom Siv: Rau cov ntaub ntawv tshiab (piv txwv li, Ga₂O₃), peb koom tes nrog cov chaw tsim khoom siv ua ntej los tsim cov hniav / laser optics tshwj xeeb rau daim ntawv thov.

2. Kev Txhawb Nqa Kev Txawj Ntse
· Kev Pabcuam Tshwj Xeeb Hauv Chaw: Muab cov kws ua haujlwm uas tau ntawv pov thawj rau cov theem tseem ceeb ntawm kev nce qib (feem ntau yog 2-4 lub lis piam), uas suav nrog:
Kev kho cov khoom siv thiab kev kho cov txheej txheem kom zoo
Kev cob qhia txog kev txawj ntse ntawm tus neeg teb xov tooj
ISO Chav Kawm 5 kev taw qhia txog kev koom ua ke ntawm chav huv
· Kev Txij Nkawm Ua Ntej: Kev kuaj xyuas kev noj qab haus huv txhua peb lub hlis nrog kev tshuaj xyuas kev co thiab kev kuaj mob servo motor kom tiv thaiv lub sijhawm tsis ua haujlwm uas tsis tau npaj tseg.
· Kev Saib Xyuas Deb: Kev soj ntsuam kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv tiag tiag los ntawm peb lub platform IoT (JCFront Connect®) nrog cov lus ceeb toom tsis siv neeg.

3. Cov Kev Pabcuam Ntxiv
· Lub Hauv Paus Kev Paub Txog Txheej Txheem: Nkag mus rau 300+ daim ntawv qhia txiav uas tau lees paub rau ntau yam ntaub ntawv (hloov kho txhua peb lub hlis).
· Kev Sib Haum Xeeb ntawm Txoj Kev Siv Tshuab: Ua kom koj cov peev txheej muaj kev nyab xeeb yav tom ntej nrog cov kev hloov kho kho vajtse/software (piv txwv li, AI-based defect detection module).
· Kev Teb Thaum Muaj Xwm Ceev: Kev kuaj mob hauv chaw deb tau lees tias yuav ua tiav hauv 4 teev thiab kev pab cuam hauv 48 teev (kev pab them nqi thoob ntiaj teb).

4. Kev Pabcuam Tsim Kho
· Kev Lav Paub Txog Kev Ua Tau Zoo: Kev cog lus rau ≥98% lub sijhawm ua haujlwm ntawm cov khoom siv nrog lub sijhawm teb rov qab los ntawm SLA.

Kev Txhim Kho Txuas Ntxiv Mus

Peb ua cov kev soj ntsuam kev txaus siab ntawm cov neeg siv khoom txhua ob xyoos ib zaug thiab siv cov kev pib Kaizen los txhim kho kev muab kev pabcuam. Peb pab neeg R&D txhais cov kev nkag siab hauv daim teb mus rau hauv kev hloov kho cov khoom siv - 30% ntawm kev txhim kho firmware yog los ntawm cov lus taw qhia ntawm cov neeg siv khoom.