Cov LEDs ci ntsa iab rau peb lub ntiaj teb, thiab hauv plawv ntawm txhua lub LED ua haujlwm siab yog qhovepitaxial wafer—ib qho tseem ceeb uas txhais nws qhov ci ntsa iab, xim, thiab kev ua haujlwm zoo. Los ntawm kev paub txog kev loj hlob ntawm epitaxial, cov tuam txhab tsim khoom tab tom qhib cov cib fim tshiab rau kev txuag hluav taws xob thiab kev daws teeb meem teeb pom kev zoo uas pheej yig.
1. Cov Txuj Ci Kev Loj Hlob Zoo Dua Rau Kev Ua Haujlwm Zoo Dua
Cov txheej txheem kev loj hlob ob kauj ruam niaj hnub no, txawm hais tias ua tau zoo, txwv tsis pub muaj kev nthuav dav. Feem ntau cov reactors lag luam tsuas yog loj hlob rau lub wafers ib pawg. Kev lag luam tab tom hloov mus rau:
- Cov reactors muaj peev xwm siabuas tswj tau ntau cov wafers, txiav cov nqi thiab ua kom muaj txiaj ntsig zoo dua.
- Cov tshuab ua haujlwm siab heev ib leeg-waferrau kev sib xws zoo dua thiab repeatability.
2. HVPE: Txoj Kev Sai Sai Mus Rau Cov Khoom Siv Zoo
Hydride Vapor Phase Epitaxy (HVPE) sai sai tsim cov txheej GaN tuab nrog tsawg qhov tsis zoo, zoo meej ua cov substrates rau lwm txoj kev loj hlob. Cov yeeb yaj kiab GaN ywj pheej no tuaj yeem sib tw nrog cov chips GaN loj. Qhov teeb meem? Qhov tuab yog qhov nyuaj rau tswj, thiab cov tshuaj lom neeg tuaj yeem ua rau cov khoom siv puas tsuaj dhau sijhawm.
3. Kev Loj Hlob Sab Nraud: Cov Pob Zeb Zoo Dua, Lub Teeb Zoo Dua
Los ntawm kev ua tib zoo tsim cov wafer nrog lub ntsej muag thiab qhov rais, cov chaw tsim khoom coj GaN kom loj hlob tsis yog tsuas yog mus rau sab saud xwb, tab sis kuj mus rau sab nraud thiab. Qhov "lateral epitaxy" no ua kom tiav cov qhov sib txawv nrog tsawg dua qhov tsis zoo, tsim kom muaj cov qauv siv lead ua kom zoo dua rau cov LEDs ua haujlwm tau zoo.
4. Pendeo-Epitaxy: Cia Cov Crystals Float
Nov yog qee yam txaus nyiam: cov kws ua haujlwm cog GaN rau ntawm cov ncej siab thiab tom qab ntawd cia nws "choj" hla qhov chaw khoob. Qhov kev loj hlob no tshem tawm ntau qhov kev ntxhov siab los ntawm cov ntaub ntawv tsis sib xws, ua rau muaj cov txheej siv lead ua uas muaj zog dua thiab huv dua.
5. Ua kom lub teeb UV ci ntsa iab
Cov khoom siv tshiab tab tom thawb lub teeb LED kom tob dua rau hauv qhov ntau ntawm UV. Vim li cas qhov no thiaj tseem ceeb? Lub teeb UV tuaj yeem ua kom cov phosphors siab heev ua haujlwm tau zoo dua li cov kev xaiv ib txwm muaj, qhib lub qhov rooj rau cov LEDs dawb tiam tom ntej uas ci dua thiab txuag hluav taws xob ntau dua.
6. Cov Chips Multi-Quantum Well: Xim los ntawm Sab Hauv
Es tsis txhob muab cov LEDs sib txawv los ua lub teeb dawb, vim li cas ho tsis cog nws tag nrho ua ib qho? Cov chips ntau-quantum zoo (MQW) ua qhov ntawd los ntawm kev muab cov khaubncaws sab nraud povtseg uas tso tawm cov wavelengths sib txawv, sib tov lub teeb ncaj qha rau hauv cov chip. Nws ua haujlwm tau zoo, me me, thiab zoo nkauj - txawm hais tias nyuaj rau tsim.
7. Siv Lub Teeb Rov Qab Los Nrog Photonics
Sumitomo thiab Boston University tau qhia tias kev muab cov khoom siv xws li ZnSe thiab AlInGaP tso rau ntawm cov LED xiav tuaj yeem "rov ua dua" cov photons mus rau hauv cov spectrum dawb tag nrho. Cov txheej txheem ntse no qhia txog kev sib xyaw ua ke ntawm cov ntaub ntawv tshawb fawb thiab photonics ntawm kev ua haujlwm hauv kev tsim LED niaj hnub.
Yuav ua li cas LED Epitaxial Wafers ua tau
Los ntawm cov substrate mus rau chip, ntawm no yog ib qho kev taug kev yooj yim:
- Theem Kev Loj Hlob:Cov khoom siv → Tsim → Buffer → N-GaN → MQW → P-GaN → Anneal → Kev Tshuaj Xyuas
- Theem Tsim Khoom:Masking → Lithography → Etching → N/P Electrodes → Dicing → Sorting
Cov txheej txheem no ua kom txhua lub LED chip muab kev ua tau zoo uas koj tuaj yeem suav rau - txawm tias teeb pom kev zoo rau koj lub vijtsam lossis koj lub nroog.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Xya Hli-08-2025