Wafer Chipping Yog Dab Tsi Thiab Yuav Ua Li Cas Thiaj Li Daws Tau?

Kev txiav cov wafer yog ib qho txheej txheem tseem ceeb hauv kev tsim khoom semiconductor thiab muaj kev cuam tshuam ncaj qha rau qhov zoo thiab kev ua tau zoo ntawm cov chip kawg. Hauv kev tsim khoom tiag tiag,kev txiav cov wafer—tshwj xeeb tshaj yogkev txiav sab pem hauv ntejthiabkev txiav sab nraub qaum—yog ib qho teeb meem loj heev uas ua rau kev tsim khoom tsis zoo thiab tsis muaj txiaj ntsig. Kev tawg tsis yog tsuas yog cuam tshuam rau qhov zoo li ntawm cov chips xwb tab sis kuj tseem tuaj yeem ua rau muaj kev puas tsuaj rau lawv cov kev ua haujlwm hluav taws xob thiab kev ntseeg siab ntawm cov khoom siv.

Kev Txhais thiab Hom Wafer Chipping

Wafer chipping hais txogcov kab nrib pleb lossis cov khoom tawg ntawm ntug ntawm cov chips thaum lub sijhawm dicingFeem ntau nws yog cais ua pawgkev txiav sab pem hauv ntejthiabkev txiav sab nraub qaum:

• Kev txiav ntoo pem hauv ntejtshwm sim rau ntawm qhov chaw ua haujlwm ntawm lub chip uas muaj cov qauv circuit. Yog tias qhov chipping nthuav dav mus rau hauv thaj chaw circuit, nws tuaj yeem ua rau lub zog hluav taws xob tsis zoo thiab kev ntseeg siab mus sij hawm ntev.

• Kev txiav sab nraub qaumfeem ntau tshwm sim tom qab wafer thinning, qhov twg cov pob txha tawg tshwm sim hauv av lossis txheej puas tsuaj rau sab nraub qaum.

Los ntawm qhov kev xav ntawm cov qauv,feem ntau yog los ntawm kev tawg ntawm cov epitaxial lossis cov txheej saum npoo av, thaumcov chipping sab nraub qaum pib los ntawm cov txheej puas tsuaj uas tsim thaum lub sijhawm wafer thinning thiab cov khoom siv substrate tshem tawm.

Pem hauv ntej chipping tuaj yeem muab faib ua peb hom:

1. Kev txiav thawj zaug- feem ntau tshwm sim thaum lub sijhawm ua ntej txiav thaum muaj hniav tshiab, uas yog tus yam ntxwv los ntawm kev puas tsuaj ntawm ntug tsis xwm yeem.

2. Kev txiav cov chipping ib ntus (cyclic)- tshwm sim ntau zaus thiab tsis tu ncua thaum lub sijhawm txiav txuas ntxiv.

3. Kev tawg tsis zoo li qub- ua rau hniav khiav tsis tau zoo, noj tsis raug, txiav tob dhau, hloov wafer, lossis deformation.

Cov hauv paus ua rau Wafer Chipping

1. Ua rau muaj qhov tawg thaum pib

• Tsis txaus qhov tseeb ntawm kev teeb tsa hniav

• Cov hniav tsis tau txiav kom raug rau hauv lub voj voog zoo meej

• Kev raug cov pob zeb diamond tsis tiav

Yog tias cov hniav raug teeb tsa nrog me ntsis qaij, lub zog txiav tsis sib npaug yuav tshwm sim. Cov hniav tshiab uas tsis tau hnav khaub ncaws zoo yuav qhia txog qhov tsis sib xws, ua rau txoj kev txiav tsis sib xws. Yog tias cov noob pob zeb diamond tsis raug nthuav tawm tag nrho thaum lub sijhawm ua ntej txiav, qhov chaw zoo ntawm cov chips tsis tuaj yeem tsim, ua rau muaj feem yuav chipping.

2. Ua rau muaj kev tawg ntawm cov khoom seem tsis tu ncua

• Kev puas tsuaj rau ntawm qhov chaw ntawm cov hniav

• Cov pob zeb diamond loj loj uas tawm los

• Kev nplaum cov khoom txawv teb chaws (resin, cov hlau khib nyiab, thiab lwm yam)

Thaum lub sijhawm txiav, tej qhov me me yuav tshwm sim vim muaj kev cuam tshuam ntawm cov chips. Cov pob zeb diamond loj loj uas tawm los ua rau muaj kev ntxhov siab hauv zos, thaum cov seem lossis cov khoom tsis huv ntawm qhov chaw ntawm cov hniav tuaj yeem cuam tshuam kev ruaj khov ntawm kev txiav.

3. Ua rau muaj kev tawg tsis zoo

• Cov hniav khiav tawm vim qhov sib npaug tsis zoo ntawm qhov ceev ceev

• Kev pub mov tsis raug lossis qhov tob txiav ntau dhau

• Kev hloov pauv ntawm wafer lossis deformation thaum txiav

Cov yam no ua rau lub zog txiav tsis ruaj khov thiab tsis sib xws ntawm txoj kev txiav uas tau teeb tsa ua ntej, ua rau ntug tawg.

4. Ua rau muaj kev tawg ntawm sab nraub qaum

Cov chipping sab nraub qaum feem ntau yog los ntawmKev ntxhov siab thaum lub sijhawm wafer thinning thiab wafer warpage.

Thaum lub sij hawm nyias nyias, ib txheej puas tsuaj tshwm sim rau sab nraub qaum, cuam tshuam cov qauv siv lead ua thiab tsim kev ntxhov siab sab hauv. Thaum lub sij hawm txiav, kev ntxhov siab tso tawm ua rau muaj qhov tawg me me, uas maj mam nthuav mus rau hauv qhov tawg loj sab nraub qaum. Thaum lub wafer tuab txo qis, nws qhov kev tiv thaiv kev ntxhov siab tsis muaj zog, thiab kev sib tsoo nce ntxiv - ua rau sab nraub qaum chipping ntau dua.

Kev cuam tshuam ntawm Chipping rau Chips thiab Countermeasures

Kev cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm Chip

Kev tawg ua tej daim me me ua rau txo qis heevlub zog kho tshuabTxawm tias cov kab nrib me me ntawm ntug kuj tseem yuav txuas ntxiv mus thaum lub sijhawm ntim khoom lossis siv tiag tiag, thaum kawg ua rau muaj kev tawg ntawm cov chips thiab kev puas tsuaj ntawm hluav taws xob. Yog tias cov chips ntawm sab pem hauv ntej nkag mus rau hauv thaj chaw ntawm lub voj voog, nws ua rau muaj kev cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm hluav taws xob thiab kev ntseeg siab ntawm lub cuab yeej mus sij hawm ntev.

Cov Kev daws teeb meem zoo rau Wafer Chipping

1. Kev Txhim Kho Cov Txheej Txheem

Yuav tsum tau hloov kho qhov ceev ntawm kev txiav, qhov nrawm ntawm kev pub, thiab qhov tob ntawm kev txiav raws li thaj chaw ntawm wafer, hom khoom siv, tuab, thiab kev nce qib ntawm kev txiav kom txo qhov kev ntxhov siab.
Los ntawm kev sib koom ua keKev pom kev ntawm lub tshuab thiab kev saib xyuas raws li AI, qhov xwm txheej ntawm cov hniav tiag tiag thiab tus cwj pwm chipping tuaj yeem pom thiab cov txheej txheem cov txheej txheem tau hloov kho kom raug rau kev tswj hwm meej.

2. Kev Txij Nkawm thiab Kev Tswj Xyuas Khoom Siv

Kev saib xyuas lub tshuab dicing tsis tu ncua yog qhov tseem ceeb kom ntseeg tau tias:

• Kev ua kom raug ntawm lub ntxaiv

• Kev ruaj khov ntawm lub cev kis tau tus mob

• Kev ua haujlwm ntawm lub tshuab cua txias

Yuav tsum muaj ib lub tshuab saib xyuas lub neej ntawm cov hniav kom ntseeg tau tias cov hniav uas puas lawm raug hloov ua ntej kev ua haujlwm poob qis ua rau tawg.

3. Kev Xaiv thiab Kev Txhim Kho Hniav

Cov khoom ntawm cov hniav xws liQhov loj ntawm cov pob zeb diamond, qhov nyuaj ntawm kev sib txuas, thiab qhov ceev ntawm cov pob zeb diamondmuaj kev cuam tshuam loj heev rau tus cwj pwm chipping:

• Cov noob pob zeb diamond loj dua ua rau cov chipping ntawm sab pem hauv ntej nce ntxiv.

• Cov noob me dua txo qhov chipping tab sis txo qhov ua tau zoo ntawm kev txiav.

• Qhov ceev ntawm cov noob qoob loo qis dua ua rau cov chipping txo qis tab sis ua rau lub cuab yeej siv tau ntev dua.

• Cov ntaub ntawv sib txuas mos dua txo qhov tawg tab sis ua rau hnav sai dua.

Rau cov khoom siv uas muaj silicon,qhov loj ntawm cov pob zeb diamond yog qhov tseem ceeb tshaj plawsKev xaiv cov hniav zoo uas muaj cov noob me me thiab tswj tau qhov loj ntawm cov noob nruj zoo tiv thaiv kev tawg ntawm sab pem hauv ntej thaum tswj tau tus nqi.

4. Kev Tswj Xyuas Kev Sib Tsoo Sab Nraud

Cov tswv yim tseem ceeb suav nrog:

• Kev ua kom qhov ceev ntawm lub spindle zoo dua

• Xaiv cov pob zeb diamond abrasives zoo

• Siv cov ntaub ntawv mos mos thiab cov khoom siv abrasive tsawg

• Xyuas kom meej qhov kev teeb tsa hniav thiab kev co ntawm lub spindle ruaj khov

Qhov kev tig ceev heev lossis qis dhau ob qho tib si ua rau muaj kev pheej hmoo ntawm kev tawg sab nraub qaum. Cov hniav tig lossis kev co ntawm lub spindle tuaj yeem ua rau muaj kev tawg loj hauv thaj chaw sab nraub qaum. Rau cov wafers nyias heev,kev kho mob tom qab xws li CMP (Chemical Mechanical Polishing), kev etching qhuav, thiab kev etching tshuaj ntub dejpab tshem tawm cov txheej txheem puas tsuaj uas tseem tshuav, tso tawm kev ntxhov siab sab hauv, txo qhov warpage, thiab ua kom lub zog ntawm cov chips zoo dua.

5. Cov Txuj Ci Txiav Siab Tshaj Plaws

Cov txheej txheem txiav uas tsis sib cuag thiab tsis tshua muaj kev ntxhov siab tshiab muab kev txhim kho ntxiv:

• Kev txiav lasertxo qhov kev sib cuag ntawm cov khoom siv thiab txo cov chipping los ntawm kev ua cov txheej txheem muaj zog ntau.

• Kev txiav cov dicing siv dej dav hlausiv cov dej siab siab sib xyaw nrog cov micro-abrasives, txo qhov kev ntxhov siab thermal thiab mechanical.

Txhim Kho Kev Tswj Xyuas Zoo thiab Kev Tshuaj Xyuas

Yuav tsum tsim kom muaj ib lub txheej txheem tswj xyuas zoo nruj thoob plaws hauv cov saw hlau tsim khoom - txij li kev tshuaj xyuas cov khoom siv raw mus txog rau kev txheeb xyuas cov khoom kawg. Cov khoom siv tshuaj xyuas qhov tseeb siab xws licov tshuab tsom iav kho qhov muag thiab cov tshuab tsom iav hluav taws xob (SEM)yuav tsum tau siv los tshuaj xyuas kom meej tom qab dicing wafers, uas tso cai rau kev kuaj pom thaum ntxov thiab kho cov chipping tsis zoo.

Xaus lus

Wafer chipping yog ib qho teeb meem nyuaj, ntau yam teeb meem uas cuam tshuam nrogCov txheej txheem tsis, cov xwm txheej ntawm cov khoom siv, cov khoom ntawm cov hniav, kev ntxhov siab ntawm wafer, thiab kev tswj xyuas zooTsuas yog los ntawm kev ua kom zoo dua qub hauv txhua qhov chaw no thiaj li tswj tau chipping tau zoo - yog li ntawd thiaj li txhim khocov txiaj ntsig ntawm kev tsim khoom, kev ntseeg siab ntawm cov chip, thiab kev ua tau zoo ntawm cov cuab yeej tag nrho.