Wafer dicing thev naus laus zis, raws li cov kauj ruam tseem ceeb hauv cov txheej txheem tsim khoom semiconductor, yog txuas ncaj qha rau kev ua haujlwm nti, tawm los, thiab cov nqi tsim khoom.
#01 Keeb kwm thiab qhov tseem ceeb ntawm Wafer Dicing
1.1 Lub ntsiab lus ntawm Wafer Dicing
Wafer dicing (tseem hu ua scribing) yog ib kauj ruam tseem ceeb hauv kev tsim khoom semiconductor, tsom rau kev faib cov txheej txheem wafers rau ntau tus neeg tuag. Cov tuag no feem ntau muaj cov haujlwm ua tiav hauv Circuit Court thiab yog cov khoom tseem ceeb thaum kawg siv hauv kev tsim cov khoom siv hluav taws xob. Raws li cov qauv tsim los ua ntau txoj hauv kev thiab qhov ntev txuas ntxiv zuj zus, qhov yuav tsum tau ua thiab kev ua tau zoo rau wafer dicing tshuab tau dhau los ua nruj.
Hauv kev ua haujlwm zoo, wafer dicing feem ntau siv cov cuab yeej ua haujlwm siab xws li pob zeb diamond hniav los xyuas kom meej tias txhua qhov tuag tseem tsis zoo thiab ua haujlwm tau zoo. Cov kauj ruam tseem ceeb suav nrog kev npaj ua ntej txiav, kev tswj xyuas meej thaum lub sijhawm txiav, thiab kev tshuaj xyuas zoo tom qab txiav.
Ua ntej txiav, lub wafer yuav tsum tau cim thiab muab tso rau kom paub meej cov kev txiav raug. Thaum lub sij hawm txiav, tsis xws li cuab yeej siab thiab ceev yuav tsum nruj me ntsis tswj kom tsis txhob muaj kev puas tsuaj rau lub wafer. Tom qab txiav, kev tshuaj xyuas zoo yog ua los xyuas kom meej tias txhua lub nti ua tau raws li cov qauv kev ua haujlwm.
Lub hauv paus ntsiab lus ntawm wafer dicing tshuab encompass tsis tau tsuas yog kev xaiv ntawm cov cuab yeej txiav thiab kev teeb tsa ntawm cov txheej txheem tsis, tab sis kuj muaj kev cuam tshuam ntawm cov khoom siv thiab cov yam ntxwv ntawm cov khoom ntawm kev txiav zoo. Piv txwv li, low-k dielectric silicon wafers, vim lawv cov khoom siv tsis zoo, muaj kev cuam tshuam rau kev ntxhov siab thaum txiav, ua rau tsis zoo xws li chipping thiab cracking. Qhov qis hardness thiab brittleness ntawm cov ntaub ntawv low-k ua rau lawv yooj yim rau cov qauv kev puas tsuaj nyob rau hauv mechanical quab yuam los yog thermal stress, tshwj xeeb tshaj yog thaum txiav. Kev sib cuag ntawm lub cuab yeej thiab lub wafer nto, nrog rau qhov kub thiab txias, tuaj yeem ua rau muaj kev ntxhov siab ntxiv.
Nrog rau kev nce qib hauv cov ntaub ntawv tshawb fawb, wafer dicing thev naus laus zis tau nthuav dav tshaj li cov khoom siv silicon-based semiconductors kom suav nrog cov ntaub ntawv tshiab xws li gallium nitride (GaN). Cov ntaub ntawv tshiab no, vim lawv qhov hardness thiab cov yam ntxwv ntawm cov khoom, ua rau muaj kev sib tw tshiab rau cov txheej txheem dicing, xav tau kev txhim kho ntxiv hauv cov cuab yeej txiav thiab cov txheej txheem.
Raws li cov txheej txheem tseem ceeb hauv kev lag luam semiconductor, wafer dicing txuas ntxiv ua kom zoo nyob rau hauv cov lus teb rau cov kev xav tau hloov zuj zus thiab kev txhim kho thev naus laus zis, tso lub hauv paus rau yav tom ntej microelectronics thiab integrated circuit technologies.
Kev txhim kho hauv wafer dicing thev naus laus zis mus dhau ntawm kev txhim kho cov khoom siv thiab cov cuab yeej pabcuam. Lawv kuj suav nrog cov txheej txheem optimization, kev txhim kho hauv cov cuab yeej ua tau zoo, thiab kev tswj xyuas meej ntawm qhov ntsuas qhov ntsuas. Cov kev nce qib no tsom xyuas kom muaj kev ua tau zoo, kev ua tau zoo, thiab kev ruaj ntseg hauv cov txheej txheem wafer dicing, ua tau raws li kev lag luam semiconductor xav tau rau qhov me me, kev sib koom ua ke ntau dua, thiab ntau cov txheej txheem nti.
| Kev txhim kho cheeb tsam | Kev ntsuas tshwj xeeb | Cov teebmeem |
| Txheej txheem Optimization | - Txhim kho kev npaj thawj zaug, xws li qhov tseeb wafer positioning thiab kev npaj txoj kev. | - Txo kev txiav qhov yuam kev thiab txhim kho kev ruaj ntseg. |
| - Txo qhov yuam kev txiav thiab txhim khu kev ruaj ntseg. | - Txais kev saib xyuas lub sijhawm tiag tiag thiab cov lus tawm tswv yim los kho cov cuab yeej siab, nrawm, thiab kub. | |
| - Tsawg wafer breakage tus nqi thiab txhim kho nti zoo. | ||
| Cov cuab yeej ua haujlwm tau zoo | - Siv high-precision mechanical systems thiab advanced automation tswj technology. | - Txhim kho qhov raug txiav thiab txo cov khoom pov tseg. |
| - Qhia laser txiav tshuab haum rau high-hardness khoom wafers. | - Txhim kho ntau lawm efficiency thiab txo cov phau ntawv yuam kev. | |
| - Txhim kho cov cuab yeej automation rau kev saib xyuas tsis siv neeg thiab hloov kho. | ||
| Precise Parameter Control | - Ua tib zoo kho qhov tsis zoo xws li txiav qhov tob, nrawm, hom cuab yeej, thiab cov txheej txheem txias. | - Ua kom muaj kev ntseeg ruaj khov thiab hluav taws xob ua haujlwm. |
| - Kho qhov ntsuas raws li cov khoom siv wafer, tuab, thiab cov qauv. | - Txhim kho tus nqi tawm los, txo cov khoom pov tseg, thiab txo cov nqi tsim khoom. | |
| Lub tswv yim tseem ceeb | -Nruam tshawb nrhiav txoj hauv kev tshiab thev naus laus zis, txhim kho cov txheej txheem, thiab txhim kho cov cuab yeej muaj peev xwm kom tau raws li kev xav tau ntawm kev lag luam. | - Txhim kho chip manufacturing yield thiab kev ua tau zoo, txhawb txoj kev loj hlob ntawm cov ntaub ntawv tshiab thiab advanced chip designs. |
1.2 Qhov tseem ceeb ntawm Wafer Dicing
Wafer dicing plays lub luag haujlwm tseem ceeb hauv cov txheej txheem tsim khoom semiconductor, cuam tshuam ncaj qha rau cov kauj ruam tom ntej nrog rau qhov zoo thiab kev ua haujlwm ntawm cov khoom kawg. Nws qhov tseem ceeb tuaj yeem piav qhia raws li hauv qab no:
Ua ntej, qhov raug thiab sib xws ntawm dicing yog qhov tseem ceeb rau kev ua kom cov nti tawm los thiab kev ntseeg tau. Thaum lub sij hawm tsim khoom, wafers tau dhau los ua ntau yam kev ua haujlwm los tsim ntau cov qauv sib txawv hauv Circuit Court, uas yuav tsum tau muab faib ua cov chips (tuag). Yog tias muaj qhov yuam kev tseem ceeb hauv kev sib dhos lossis txiav thaum lub sij hawm dicing txheej txheem, cov circuits yuav raug puas tsuaj, cuam tshuam rau cov nti ua haujlwm thiab kev ntseeg tau. Yog li ntawd, high-precision dicing tshuab tsis tsuas yog ua kom muaj kev ncaj ncees ntawm txhua lub nti tab sis tseem tiv thaiv kev puas tsuaj rau cov khoom siv hluav taws xob sab hauv, txhim kho tag nrho cov txiaj ntsig.
Thib ob, wafer dicing muaj qhov cuam tshuam loj rau kev tsim khoom thiab kev tswj tus nqi. Raws li cov kauj ruam tseem ceeb hauv kev tsim khoom, nws cov txiaj ntsig ncaj qha cuam tshuam rau kev nce qib ntawm cov kauj ruam tom ntej. Los ntawm optimizing cov txheej txheem dicing, nce qib automation, thiab txhim kho kev txiav ceev, tag nrho cov kev ua tau zoo tuaj yeem txhim kho zoo heev.
Ntawm qhov tod tes, cov khoom siv khib nyiab thaum lub sij hawm dicing yog qhov tseem ceeb hauv kev tswj tus nqi. Kev siv cov thev naus laus zis siab tshaj plaws tsis yog tsuas yog txo cov khoom siv tsis tsim nyog thaum lub sijhawm txiav, tab sis kuj nce kev siv wafer, yog li txo cov nqi tsim khoom.
Nrog kev nce qib hauv semiconductor technology, wafer diamers txuas ntxiv kom nce, tso cov kev xav tau ntau dua ntawm cov khoom siv thev naus laus zis. Cov wafers loj dua yuav tsum tau tswj kom meej meej ntawm kev txiav, tshwj xeeb tshaj yog nyob rau hauv high-density circuits, qhov twg txawm me me deviations tuaj yeem ua rau ntau daim chips puas. Tsis tas li ntawd, cov wafers loj dua suav nrog ntau txoj kab txiav thiab ntau cov txheej txheem txheej txheem, yuav tsum tau txhim kho ntxiv hauv qhov tseeb, sib xws, thiab kev ua haujlwm ntawm dicing technologies kom tau raws li cov kev cov nyom no.
1.3 Wafer Dicing txheej txheem
Cov txheej txheem wafer dicing encompasses tag nrho cov kauj ruam los ntawm theem npaj mus rau qhov kawg kev soj ntsuam zoo, nrog rau txhua theem yog ib qho tseem ceeb los xyuas kom meej qhov zoo thiab kev ua tau zoo ntawm cov diced chips. Hauv qab no yog cov lus piav qhia ntxaws txog txhua theem.
| Theem | Cov lus piav qhia ntxaws |
| Kev Npaj Theem | -Wafer ntxuav: Siv cov dej purity siab thiab cov tshuaj ntxuav tshwj xeeb, ua ke nrog ultrasonic lossis txhua yam txhuam, kom tshem tawm cov impurities, hais, thiab cov kab mob, ua kom lub ntsej muag huv. -Precise Positioning: Siv cov cuab yeej siv high-precision kom ntseeg tau tias cov wafer raug muab faib raws li cov kev txiav tsim. -Wafer Fixation: Ruaj lub wafer mus rau ib daim kab xev kom muaj kev ruaj ntseg thaum txiav, tiv thaiv kev puas tsuaj los ntawm kev co lossis txav. |
| Txiav Phase | -Hniav Dicing: Siv kev kub ceev rotating pob zeb diamond-coated hniav rau lub cev txiav, haum rau silicon-raws li cov ntaub ntawv thiab nqi-zoo. -Laser txiav: Siv cov kab hluav taws xob siab zog rau kev txiav tsis sib cuag, zoo tagnrho rau cov khoom siv tawv tawv lossis cov tawv tawv zoo li gallium nitride, muab cov khoom siv ntau dua thiab cov khoom siv tsawg dua. -Tshiab yees: Qhia laser thiab plasma txiav technologies ntxiv txhim kho efficiency thiab precision thaum txo tshav kub-cuam tshuam cheeb tsam. |
| Theem ntxuav | - Siv cov dej deionized (DI dej) thiab cov tshuaj ntxuav tshwj xeeb, ua ke nrog ultrasonic lossis tshuaj ntxuav, tshem cov khib nyiab thiab plua plav tawm thaum txiav, tiv thaiv cov khoom seem los ntawm kev cuam tshuam cov txheej txheem tom ntej lossis nti hluav taws xob ua haujlwm. - High-purity DI dej zam kev nthuav tawm cov kab mob tshiab, ua kom muaj ib puag ncig huv wafer. |
| Kev tshuaj xyuas theem | -Kev tshuaj xyuas qhov muag: Siv cov cuab yeej kho qhov muag ua ke nrog AI algorithms txhawm rau txheeb xyuas qhov tsis xws luag, xyuas kom tsis muaj kab nrib pleb lossis chipping hauv cov diced chips, txhim kho kev tshuaj xyuas, thiab txo tib neeg kev ua yuam kev. -Dimension ntsuas: Xyuas kom meej tias nti qhov ntev raws li cov qauv tsim. -Kev Ntsuas Hluav Taws Xob: Ua kom cov hluav taws xob ua haujlwm ntawm cov chips tseem ceeb ua tau raws li cov qauv, lav kev ntseeg siab hauv cov ntawv thov tom ntej. |
| Kev txheeb theem | - Siv cov caj npab robotic lossis lub tshuab nqus tsev nqus los cais cov chips tsim nyog los ntawm daim kab xev thiab txiav lawv raws li kev ua tau zoo, ua kom muaj kev ua tau zoo thiab ua kom yooj yim thaum txhim kho precision. |
Cov txheej txheem txiav wafer suav nrog kev tu wafer, qhov chaw, txiav, tu, tshuaj xyuas, thiab txheeb xyuas, nrog rau txhua kauj ruam tseem ceeb. Nrog rau kev nce qib hauv automation, laser txiav, thiab AI tshuaj ntsuam technologies, niaj hnub wafer txiav tshuab tuaj yeem ua tiav qhov siab dua, ceev, thiab cov khoom siv qis dua. Nyob rau hauv lub neej yav tom ntej, tshiab txiav technologies xws li laser thiab plasma yuav maj mam hloov cov tsoos hniav txiav kom tau raws li cov kev xav tau ntawm ntau zog nti designs, ntxiv tsav tsheb txoj kev loj hlob ntawm semiconductor manufacturing txheej txheem.
Wafer Txiav Technology thiab Nws Cov Ntsiab Cai
Daim duab qhia txog peb hom wafer txiav technologies:Hniav Dicing,Laser txiav, thiabPlasma Dicing. Hauv qab no yog cov ncauj lus kom ntxaws tsom xam thiab piav qhia ntxiv ntawm peb cov txheej txheem no:
Hauv kev tsim khoom semiconductor, wafer txiav yog ib kauj ruam tseem ceeb uas yuav tsum tau xaiv txoj kev txiav tsim nyog raws li lub thickness ntawm wafer. Thawj kauj ruam yog los txiav txim siab lub wafer lub thickness. Yog hais tias lub wafer thickness ntau tshaj 100 microns, hniav dicing tuaj yeem xaiv raws li txoj kev txiav. Yog hais tias cov hniav dicing tsis haum, txoj kev tawg dicing tuaj yeem siv tau, uas suav nrog ob qho tib si sau ntawv txiav thiab cov hniav dicing.
Thaum lub thickness ntawm wafer nyob nruab nrab ntawm 30 thiab 100 microns, DBG (Tsuas Ua Ntej Sib Tsoo) txoj kev pom zoo. Nyob rau hauv cov ntaub ntawv no, sau ntawv txiav, hniav dicing, los yog kho qhov txiav raws li xav tau yuav raug xaiv kom ua tiav qhov zoo tshaj plaws.
Rau ultra-nyias wafers nrog ib tug tuab ntawm tsawg tshaj li 30 microns, laser txiav yog cov nyiam txoj kev vim nws muaj peev xwm txiav nyias wafers precisely yam tsis muaj kev puas tsuaj ntau dhau. Yog tias laser txiav tsis tuaj yeem ua tau raws li cov kev cai tshwj xeeb, plasma txiav tuaj yeem siv los ua lwm txoj hauv kev. Daim ntawv qhia flowchart no muab txoj hauv kev txiav txim siab meej kom ntseeg tau tias cov tshuab txiav wafer uas tsim nyog tshaj plaws raug xaiv nyob rau hauv cov xwm txheej sib txawv.
2.1 Mechanical Cutting Technology
Tshuab txiav tshuab yog cov txheej txheem ib txwm siv hauv wafer dicing. Lub hauv paus ntsiab lus tseem ceeb yog siv lub siab ceev rotating pob zeb diamond sib tsoo lub log raws li cov cuab yeej txiav txiav cov wafer. Cov cuab yeej tseem ceeb suav nrog lub tshuab cua-cov kabmob, uas tsav lub pob zeb diamond sib tsoo lub log ntawm kev kub ceev kom ua tau zoo txiav lossis grooving raws txoj kev txiav ua ntej. Cov tshuab no tau siv dav hauv kev lag luam vim nws tus nqi qis, kev ua haujlwm siab, thiab kev siv dav.
Qhov zoo
Lub siab tawv thiab hnav tsis kam ntawm pob zeb diamond sib tsoo log cov cuab yeej ua kom cov cuab yeej txiav tshuab kom haum rau cov kev xav tau ntawm ntau yam khoom siv wafer, txawm tias cov khoom siv silicon-raws li cov khoom siv los yog cov khoom siv semiconductors tshiab. Nws txoj haujlwm yog qhov yooj yim, nrog cov kev cai qis qis, ntxiv rau nws cov koob meej hauv ntau lawm. Tsis tas li ntawd, piv rau lwm txoj kev txiav xws li laser txiav, cov tshuab txiav muaj cov nqi tswj tau ntau dua, ua rau nws tsim nyog rau kev xav tau ntau lawm.
Kev txwv
Txawm hais tias nws muaj ntau qhov zoo, kev siv tshuab txiav tshuab kuj muaj kev txwv. Ua ntej, vim yog kev sib cuag ntawm lub cev ntawm lub cuab yeej thiab lub wafer, qhov kev txiav txim siab yog qhov txwv, feem ntau ua rau qhov sib txawv ntawm qhov sib txawv uas tuaj yeem cuam tshuam qhov tseeb ntawm cov khoom ntim thiab kev sim tom ntej. Qhov thib ob, qhov tsis xws luag xws li chipping thiab tawg tuaj yeem yooj yim tshwm sim thaum lub sij hawm cov txheej txheem txiav tshuab, uas tsis tsuas yog cuam tshuam rau tus nqi tawm los tab sis kuj tuaj yeem cuam tshuam tsis zoo rau kev ntseeg siab thiab kev ua neej ntawm cov chips. Kev puas tsuaj los ntawm kev ntxhov siab vim yog kev puas tsuaj tshwj xeeb rau kev tsim cov chips high-density, tshwj xeeb tshaj yog thaum txiav cov khoom tawg, qhov teeb meem no tseem ceeb dua.
Kev txhim kho thev naus laus zis
Txhawm rau kov yeej cov kev txwv no, cov kws tshawb fawb tau txuas ntxiv txhim kho cov txheej txheem txiav tshuab. Cov kev txhim kho tseem ceeb suav nrog kev txhim kho tus qauv tsim thiab xaiv cov khoom siv ntawm kev sib tsoo log los txhim kho kev txiav precision thiab kav ntev. Tsis tas li ntawd, kev ua kom zoo ntawm cov qauv tsim thiab tswj cov cuab yeej ntawm cov cuab yeej txiav tau ntxiv txhim kho kev ruaj ntseg thiab automation ntawm cov txheej txheem txiav. Cov kev nce qib no txo cov kev ua yuam kev los ntawm tib neeg kev ua haujlwm thiab txhim kho qhov sib xws ntawm kev txiav. Kev taw qhia txog kev tshuaj xyuas thiab kev tswj xyuas cov thev naus laus zis rau kev saib xyuas lub sijhawm tiag tiag ntawm kev tsis sib xws thaum lub sijhawm txiav cov txheej txheem kuj tseem txhim kho kev txiav kev ntseeg tau thiab tawm los.
Yav Tom Ntej Kev Txhim Kho thiab Kev Siv Tshuab Tshiab
Txawm hais tias kev siv tshuab txiav tshuab tseem tuav txoj haujlwm tseem ceeb hauv kev txiav wafer, cov cuab yeej txiav tshiab tau nce nrawm dua li cov txheej txheem semiconductor hloov zuj zus. Piv txwv li, daim ntawv thov ntawm thermal laser txiav tshuab muab cov kev daws teeb meem tshiab rau qhov tseeb thiab cov teeb meem tsis zoo hauv kev txiav tshuab. Txoj kev txiav tsis sib cuag no txo qhov kev ntxhov siab ntawm lub cev ntawm lub wafer, txo qis qhov tshwm sim ntawm chipping thiab cracking, tshwj xeeb tshaj yog thaum txiav cov khoom nkig. Nyob rau hauv lub neej yav tom ntej, kev koom ua ke ntawm cov tshuab txiav tshuab nrog cov txheej txheem txiav tawm tshiab yuav muab cov khoom siv semiconductor nrog ntau txoj kev xaiv thiab hloov tau yooj yim, ntxiv kev txhim kho kev tsim khoom thiab chip zoo.
Hauv kev xaus, txawm hais tias kev siv tshuab txiav tshuab muaj qee qhov tsis zoo, kev txhim kho thev naus laus zis txuas ntxiv thiab nws cov kev koom ua ke nrog cov txheej txheem txiav tshiab tso cai rau nws tseem ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev tsim khoom semiconductor thiab tswj nws cov kev sib tw hauv cov txheej txheem yav tom ntej.
2.2 Laser Txiav Technology
Laser txiav tshuab, raws li ib tug tshiab txoj kev nyob rau hauv wafer txiav, tau maj tau txais kev dav dav nyob rau hauv lub semiconductor kev lag luam vim nws siab precision, tsis muaj mechanical kev puas tsuaj, thiab ceev txiav peev xwm. Cov tshuab no siv lub zog siab dua thiab tsom peev xwm muaj peev xwm ntawm cov nqaj laser los tsim cov khoom siv kub me me ntawm cov khoom wafer. Thaum lub laser beam siv rau lub wafer, lub thermal stress generated ua rau cov khoom tawg ntawm qhov chaw, ua tiav kev txiav.
Qhov zoo ntawm Laser Tej Tshuab
• Siab Precision: Lub laser beam qhov tseeb qhov chaw muaj peev xwm tso cai rau micron los yog txawm nanometer-theem txiav precision, ua tau raws li cov kev cai ntawm niaj hnub high-precision, high-density integrated circuit manufacturing.
• Tsis muaj kev sib cuag tshuab: Laser txiav zam kev tiv thaiv lub cev nrog lub wafer, tiv thaiv cov teeb meem tshwm sim hauv kev txiav tshuab, xws li chipping thiab tawg, txhim kho cov txiaj ntsig zoo thiab kev ntseeg siab ntawm cov chips.
• Txiav ceev ceev: Kev kub ceev ntawm laser txiav ua rau muaj kev ua tau zoo ntau lawm, ua rau nws tshwj xeeb tshaj yog haum rau cov xwm txheej loj, kev kub ceev ntau lawm.
Kev nyuaj siab ntsib
• Cov khoom siv siab heev: Kev nqis peev thawj zaug rau cov cuab yeej laser txiav yog siab, uas nthuav tawm kev lag luam siab, tshwj xeeb tshaj yog rau cov tuam txhab tsim khoom me me rau nruab nrab.
• Tswj txheej txheem nyuaj: Laser txiav yuav tsum muaj kev tswj hwm ob peb yam, suav nrog lub zog ntom, tsom txoj haujlwm, thiab txiav ceev, ua rau cov txheej txheem ua.
• Teeb meem ntawm cheeb tsam kub: Txawm hais tias laser txiav qhov tsis sib cuag yuav txo cov khoom puas tsuaj, qhov thermal stress tshwm sim los ntawm tshav kub-cuam tshuam cheeb tsam (HAZ) tuaj yeem cuam tshuam tsis zoo rau cov khoom siv wafer. Kev ua kom zoo ntxiv ntawm cov txheej txheem yog xav tau kom txo cov nyhuv no.
Kev Txhim Kho Cov Lus Qhia
Txhawm rau daws cov teeb meem no, cov kws tshawb nrhiav tau tsom mus rau kev txo cov nqi khoom siv, txhim kho kev ua haujlwm ntawm kev txiav, thiab ua kom zoo dua cov txheej txheem ntws.
• Ua tau zoo Lasers thiab Optical Systems: Los ntawm kev tsim cov lasers ua tau zoo dua thiab cov tshuab kho qhov muag zoo tshaj plaws, nws muaj peev xwm txo qis cov khoom siv thaum txhim kho kev txiav precision thiab ceev.
• Optimizing Process Parameters: Kev tshawb fawb tob txog kev sib cuam tshuam ntawm lasers thiab wafer cov ntaub ntawv yog ua los txhim kho cov txheej txheem uas txo qhov kub ntawm qhov cuam tshuam, yog li txhim kho kev txiav zoo.
• Kev Tswj Xyuas Kev Txawj Ntse: Txoj kev loj hlob ntawm kev txawj ntse tswj technologies aims automate thiab optimize lub laser txiav txheej txheem, txhim kho nws stability thiab sib xws.
Laser txiav tshuab yog tshwj xeeb tshaj yog zoo nyob rau hauv ultra-thin wafers thiab high-precision txiav scenarios. Raws li wefer sib tw nce thiab Circuit Court txiav, cov txheej txheem ib txwm muaj kev tawm tsam kom tau raws li qhov kev xav tau zoo ntawm niaj hnub soob sab khoom lag luam. Vim nws qhov tshwj xeeb zoo, laser txiav yog qhov kev daws teeb meem hauv cov teb no.
Txawm hais tias laser txiav tshuab tseem ntsib cov teeb meem xws li cov cuab yeej siv siab thiab cov txheej txheem tsis yooj yim, nws qhov tshwj xeeb zoo nyob rau hauv siab precision thiab tsis sib cuag puas ua rau nws yog ib qho tseem ceeb ntawm kev txhim kho hauv semiconductor manufacturing. Raws li laser technology thiab ntse tswj tshuab txuas ntxiv mus, laser txiav yuav tsum ntxiv txhim kho wafer txiav efficiency thiab zoo, tsav lub nruam kev loj hlob ntawm lub semiconductor kev lag luam.
2.3 Plasma Txiav Technology
Plasma txiav tshuab, raws li ib txoj kev tawm wafer dicing, tau txais kev pom zoo nyob rau xyoo tas los no. Cov tshuab no siv cov kab hluav taws xob muaj zog plasma los txiav cov wafers los ntawm kev tswj lub zog, ceev, thiab txiav txoj hauv kev ntawm cov kab plasma, ua tiav cov txiaj ntsig zoo.
Txoj Cai Ua Haujlwm thiab Qhov Zoo
Cov txheej txheem ntawm plasma txiav cia siab rau qhov kub-kub, siab-zog plasma beam tsim los ntawm cov khoom siv. Cov nqaj no tuaj yeem ua kom sov cov khoom wafer mus rau nws qhov melting lossis vaporization point hauv lub sijhawm luv luv, ua rau kev txiav ceev. Piv nrog rau cov khoom siv kho tshuab lossis laser txiav, plasma txiav yog nrawm dua thiab ua rau thaj tsam me me uas cuam tshuam rau cov cua sov, txo qhov tshwm sim ntawm cov kab nrib pleb thiab kev puas tsuaj thaum txiav.
Hauv kev siv tswv yim, plasma txiav tshuab yog tshwj xeeb tshaj yog ua tau zoo ntawm kev tuav wafers nrog cov duab nyuaj. Nws lub zog siab, kho cov kab mob ntshav plasma tau yooj yim txiav irregularly zoo li tus wafers nrog siab precision. Yog li ntawd, nyob rau hauv microelectronics manufacturing, tshwj xeeb tshaj yog nyob rau hauv customized thiab me me-batch zus tau tej cov high-end chips, lub tshuab no qhia tau hais tias zoo cog lus rau kev siv dav.
Cov kev sib tw thiab kev txwv
Txawm hais tias muaj ntau qhov zoo ntawm plasma txiav tshuab, nws kuj ntsib qee qhov kev sib tw.
• Cov txheej txheem nyuaj: Cov txheej txheem txiav plasma yog qhov nyuaj thiab xav tau cov cuab yeej ua haujlwm siab thiab cov neeg ua haujlwm paub txog kom paub meejraug thiab ruaj khov hauv kev txiav.
• Environmental Control thiab Safety: Qhov kub thiab txias, lub zog siab ntawm lub plasma beam yuav tsum nruj nruj ib puag ncig kev tswj thiab kev ntsuas kev nyab xeeb, uas ua rau kom muaj kev nyuaj siab thiab nqi siv.
Cov Lus Qhia Txog Kev Txhim Kho Yav Tom Ntej
Nrog kev txhim kho thev naus laus zis, cov teeb meem cuam tshuam nrog kev txiav ntshav plasma yuav tsum tau maj mam kov yeej. Los ntawm kev tsim cov cuab yeej ntse dua thiab ruaj khov dua, kev cia siab ntawm kev ua haujlwm ntawm phau ntawv tuaj yeem raug txo, yog li txhim kho kev tsim khoom. Nyob rau tib lub sijhawm, optimizing cov txheej txheem tsis zoo thiab qhov chaw txiav yuav pab txo qis kev pheej hmoo ntawm kev nyab xeeb thiab cov nqi ua haujlwm.
Hauv kev lag luam semiconductor, kev tsim kho tshiab hauv wafer txiav thiab dicing thev naus laus zis yog qhov tseem ceeb rau kev tsav tsheb kev lag luam txoj kev loj hlob. Plasma txiav tshuab, nrog nws cov high precision, efficiency, thiab muaj peev xwm los lis complex wafer duab, tau tshwm sim raws li ib tug tseem ceeb tshiab neeg uas ua ntawv nyob rau hauv daim teb no. Txawm hais tias qee qhov kev sib tw tseem nyob, cov teeb meem no yuav maj mam daws nrog kev txuas ntxiv thev naus laus zis tshiab, ua rau muaj peev xwm thiab muaj peev xwm ntau dua rau kev tsim khoom semiconductor.
Daim ntawv thov kev cia siab ntawm plasma txiav tshuab yog qhov loj, thiab nws xav tias yuav ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev tsim khoom semiconductor yav tom ntej. Los ntawm kev nruam kev thev naus laus zis thiab kev ua kom zoo dua qub, kev txiav plasma yuav tsis tsuas yog daws cov teeb meem uas twb muaj lawm tab sis kuj dhau los ua tus tsav tsheb muaj zog ntawm kev lag luam semiconductor txoj kev loj hlob.
2.4 Txiav zoo thiab cuam tshuam cov yam ntxwv
Wafer txiav zoo yog qhov tseem ceeb rau cov khoom ntim tom ntej, kev sim, thiab kev ua haujlwm tag nrho thiab kev ntseeg siab ntawm cov khoom kawg. Tej teeb meem uas tshwm sim thaum txiav muaj xws li tawg, chipping, thiab txiav deviations. Cov teeb meem no cuam tshuam los ntawm ntau yam ua haujlwm ua ke.
| Qeb | Cov ntsiab lus | Kev cuam tshuam |
| Txheej txheem Parameters | Txiav ceev, pub tus nqi, thiab txiav qhov tob ncaj qha cuam tshuam rau kev ruaj ntseg thiab precision ntawm cov txheej txheem txiav. Kev teeb tsa tsis raug tuaj yeem ua rau muaj kev ntxhov siab ntau dhau thiab ua rau thaj tsam kub ntxhov, ua rau tawg thiab tawg. Kho qhov ntsuas kom tsim nyog raws li cov khoom siv wafer, tuab, thiab cov kev xav tau txiav yog qhov tseem ceeb rau kev ua tiav cov txiaj ntsig xav tau. | Cov txheej txheem txoj cai tsis ua kom raug txiav thiab txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev tsis xws luag xws li tawg thiab chipping. |
| Cov khoom siv thiab cov khoom siv | -Hniav Zoo: Cov khoom siv, hardness, thiab hnav tsis kam ntawm cov hniav cuam tshuam qhov smoothness ntawm cov txheej txheem txiav thiab flatness ntawm qhov chaw txiav. Cov hniav tsis zoo ua rau muaj kev sib txhuam thiab kev ntxhov siab, uas ua rau tawg lossis tawg. Xaiv cov khoom siv hniav yog qhov tseem ceeb heev. -Coolant Performance: Coolants pab txo qhov kub thiab txias, txo kev sib txhuam, thiab tshem cov khib nyiab. Cov dej txias tsis zoo tuaj yeem ua rau kub kub thiab khib nyiab tsim, cuam tshuam rau kev txiav zoo thiab kev ua haujlwm zoo. Xaiv cov khoom ua kom zoo thiab ib puag ncig zoo yog qhov tseem ceeb. | Hniav zoo cuam tshuam qhov precision thiab smoothness ntawm qhov txiav. Cov dej txias tsis zoo tuaj yeem ua rau tsis zoo txiav thiab ua haujlwm zoo, hais txog qhov xav tau rau kev siv lub tshuab ua kom zoo. |
| Txheej txheem tswj thiab kev soj ntsuam zoo | -Txheej txheem tswj: Kev saib xyuas lub sijhawm tiag tiag thiab kev hloov pauv ntawm qhov tseem ceeb ntawm kev txiav kom muaj kev ruaj ntseg thiab sib xws hauv cov txheej txheem txiav. -Kev soj ntsuam zoo: Kev soj ntsuam tom qab txiav cov tsos, ntsuas qhov ntev, thiab kev ntsuas hluav taws xob ua haujlwm pab txheeb xyuas thiab daws cov teeb meem zoo tam sim, txhim kho kev txiav raug thiab sib xws. | Kev tswj cov txheej txheem kom raug thiab kev tshuaj xyuas zoo pab kom muaj kev sib raug zoo, kev txiav cov txiaj ntsig zoo thiab kev tshawb pom ntxov ntawm cov teeb meem tshwm sim. |
Txhim kho kev txiav zoo
Kev txhim kho kev txiav zoo yuav tsum muaj ib txoj hauv kev zoo uas yuav siv rau hauv cov txheej txheem tsis ua haujlwm, cov khoom siv thiab cov khoom xaiv, kev tswj cov txheej txheem, thiab tshuaj xyuas. Los ntawm kev txuas ntxiv kho cov thev naus laus zis thiab kev ua kom zoo ntawm cov txheej txheem, qhov tseeb thiab kev ruaj ntseg ntawm wafer txiav tuaj yeem txhim kho ntxiv, muab kev txhawb nqa kev txhim khu ntxiv rau kev lag luam semiconductor.
#03 Tom qab txiav kev tuav thiab kuaj
3.1 Ntxuav thiab ziab
Kev ntxuav thiab ziab cov kauj ruam tom qab txiav wafer yog qhov tseem ceeb rau kev ua kom cov nti zoo thiab kev ua haujlwm zoo ntawm cov txheej txheem tom ntej. Thaum lub sij hawm no, nws yog ib qho tseem ceeb kom huv si tshem tawm cov khib nyiab silicon, coolant residue, thiab lwm yam khoom paug tsim tawm thaum txiav. Nws yog ib qho tseem ceeb sib npaug los xyuas kom meej tias cov chips tsis puas thaum lub sij hawm ntxuav, thiab tom qab ziab, xyuas kom meej tias tsis muaj noo noo nyob rau hauv nti nto los tiv thaiv cov teeb meem xws li corrosion los yog electrostatic paug.
Tom qab txiav kev tuav: Ntxuav thiab ziab txheej txheem
| Txheej txheem txheej txheem | Cov ntsiab lus | Kev cuam tshuam |
| Cov txheej txheem ntxuav | -Txoj kev: Siv cov tshuaj ntxuav tshwj xeeb thiab cov dej ntshiab, ua ke nrog cov txheej txheem ultrasonic los yog cov cuab yeej txhuam hniav los ntxuav. | Xyuas kom huv si tshem tawm cov kab mob thiab tiv thaiv kev puas tsuaj rau daim tawv nqaij thaum ntxuav. |
| -Kev xaiv tus neeg saib xyuas huv: Xaiv raws li cov khoom siv wafer thiab hom kab mob kom huv si kom zoo yam tsis muaj kev puas tsuaj rau cov nti. | Kev xaiv tus neeg sawv cev kom raug yog qhov tseem ceeb rau kev tu kom zoo thiab tiv thaiv nti. | |
| -Tswj Parameter: nruj me ntsis tswj xyuas qhov kub thiab txias, lub sij hawm, thiab cov tshuaj ntxuav kom huv si kom tsis txhob muaj teeb meem zoo los ntawm kev tu tsis raug. | Kev tswj xyuas pab kom tsis txhob ua rau lub wafer puas los yog tawm hauv cov kab mob tom qab, ua kom zoo ib yam. | |
| Tshuab ziab khaub ncaws | -Cov txheej txheem ib txwm ua: Ntuj huab cua ziab thiab cua kub ziab, uas muaj kev ua haujlwm qis thiab tuaj yeem ua rau hluav taws xob zoo li qub. | Tej zaum yuav ua rau lub sij hawm qhuav qeeb qeeb thiab muaj teeb meem zoo li qub. |
| -Niaj hnub nimno Technology: Siv cov thev naus laus zis xws li lub tshuab nqus tsev kom qhuav thiab infrared ziab kom ntseeg tau tias cov chips qhuav sai thiab tsis txhob muaj teeb meem. | Cov txheej txheem ziab kom sai dua thiab ua kom zoo dua qub, txo cov kev pheej hmoo ntawm cov kab mob zoo li qub lossis cov teeb meem ntawm cov dej noo. | |
| Cov khoom siv xaiv & tu | -Kev xaiv khoom siv: Kev ua haujlwm siab ua haujlwm tu thiab ziab tshuab ua kom zoo dua qub thiab tswj cov teeb meem zoo thaum tuav. | Cov tshuab ua haujlwm zoo ua kom muaj kev ua haujlwm zoo dua thiab txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev ua yuam kev thaum ntxuav thiab ziab. |
| -Cov cuab yeej tu: Kev tshuaj xyuas tsis tu ncua thiab kev saib xyuas cov cuab yeej ua kom nws nyob twj ywm hauv kev pom kev ua haujlwm zoo, lav cov nti zoo. | Kev saib xyuas kom zoo tiv thaiv cov cuab yeej tsis ua haujlwm, ua kom ntseeg tau thiab ua haujlwm zoo. |
Tom qab txiav tu thiab ziab
Kev ntxuav thiab ziab cov kauj ruam tom qab txiav wafer yog cov txheej txheem nyuaj thiab muag heev uas yuav tsum tau ua tib zoo xav txog ntau yam los xyuas kom meej qhov ua tiav tiav. Los ntawm kev siv cov txheej txheem tshawb fawb thiab cov txheej txheem nruj, nws muaj peev xwm ua kom ntseeg tau tias txhua lub nti nkag mus rau tom qab ntim thiab ntsuas theem hauv qhov kev pom zoo.
Tom qab txiav kev soj ntsuam thiab kuaj
| Kauj ruam | Cov ntsiab lus | Kev cuam tshuam |
| Kauj Ruam | 1.Kev tshuaj xyuas qhov muag: Siv cov cuab yeej siv qhov muag pom lossis cov khoom siv tshuaj ntsuam xyuas kom pom qhov tsis xws luag xws li cov kab nrib pleb, chipping, los yog muaj kab mob ntawm cov nti. Ceev nrooj txheeb xyuas lub cev puas tsuaj kom tsis txhob pov tseg. | Pab txhawm rau txheeb xyuas thiab tshem tawm cov chips tsis zoo thaum ntxov hauv cov txheej txheem, txo cov khoom poob. |
| 2.Kev ntsuas qhov loj: Siv cov cuab yeej ntsuas ntsuas ntsuas kom raug ntsuas qhov ntev ntawm lub nti, ua kom qhov kev txiav me me raws li cov qauv tsim thiab tiv thaiv cov teeb meem kev ua haujlwm lossis teeb meem ntim khoom. | Xyuas kom cov chips nyob rau hauv qhov txwv loj, tiv thaiv kev ua haujlwm tsis zoo lossis teeb meem sib dhos. | |
| 3.Kev Ntsuas Hluav Taws Xob: Ntsuam xyuas qhov tseem ceeb ntawm cov hluav taws xob tsis zoo xws li kev ua haujlwm, kev muaj peev xwm, thiab inductance, txhawm rau txheeb xyuas cov chips tsis ua raws thiab xyuas kom cov chips tsim nyog tsuas yog mus rau theem tom ntej. | Xyuas kom tsuas yog kev ua haujlwm thiab kev ua haujlwm-kuaj cov chips txav mus tom ntej hauv cov txheej txheem, txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev ua tsis tiav nyob rau theem tom ntej. | |
| Kauj Ruam | 1.Kev Xeem Ua Haujlwm: Xyuas kom tseeb tias cov haujlwm tseem ceeb ntawm cov nti ua haujlwm raws li qhov xav tau, txheeb xyuas thiab tshem tawm cov chips nrog kev ua haujlwm tsis zoo. | Xyuas kom cov chips ua tau raws li qhov yuav tsum tau ua ua ntej ua ntej mus rau theem tom ntej. |
| 2.Kev Ntsuam Xyuas Kev Ntseeg: Ntsuas cov kev ua tau zoo ntawm cov chips ruaj khov nyob rau hauv kev siv ntev lossis ib puag ncig hnyav, feem ntau cuam tshuam nrog kev kub siab kev laus, kev ntsuas kub qis, thiab ntsuas av noo los simulate lub ntiaj teb huab cua. | Xyuas kom cov chips tuaj yeem ntseeg tau ua haujlwm nyob rau hauv ntau yam ntawm ib puag ncig, txhim kho cov khoom lag luam ntev thiab ruaj khov. | |
| 3.Compatibility Test: Xyuas kom tseeb tias cov nti ua haujlwm zoo nrog lwm cov khoom siv lossis cov tshuab, kom ntseeg tau tias tsis muaj qhov yuam kev lossis kev ua haujlwm tsis zoo vim qhov tsis sib xws. | Ua kom muaj kev ua haujlwm zoo hauv kev siv tiag tiag hauv ntiaj teb los ntawm kev tiv thaiv cov teeb meem kev sib raug zoo. |
3.3 Ntim thiab Cia
Tom qab wafer txiav, cov chips yog qhov tseem ceeb ntawm cov txheej txheem tsim khoom semiconductor, thiab lawv cov txheej txheem ntim thiab khaws cia yog qhov tseem ceeb sib npaug. Kev ntim khoom kom raug thiab kev ntsuas kev cia yog qhov tseem ceeb tsis yog rau kev ua kom muaj kev nyab xeeb thiab ruaj khov ntawm cov chips thaum thauj thiab khaws cia tab sis kuj tseem muab kev txhawb zog rau kev tsim khoom, kev sim, thiab ntim cov theem tom ntej.
Summary of Inspection and Testing Stages:
Kev tshuaj xyuas thiab kev sim cov kauj ruam rau cov chips tom qab txiav wafer npog ntau yam, suav nrog kev tshuaj xyuas qhov muag, ntsuas qhov loj me, ntsuas hluav taws xob ua haujlwm, ntsuas kev ua haujlwm, kev ntsuas kev ntseeg tau, thiab kev ntsuas kev sib raug zoo. Cov kauj ruam no yog kev sib txuas thiab sib txuas ntxiv, ua kom muaj kev cuam tshuam los ua kom cov khoom zoo thiab kev ntseeg siab. Los ntawm kev soj ntsuam nruj thiab kev sim cov txheej txheem, cov teeb meem muaj peev xwm tuaj yeem txheeb xyuas thiab daws tau sai, ua kom cov khoom kawg ua tau raws li cov neeg siv khoom xav tau thiab kev cia siab.
| Yam | Cov ntsiab lus |
| Kev ntsuas ntim | 1.Anti-static: Cov khoom ntim yuav tsum muaj cov khoom zoo li qub los tiv thaiv hluav taws xob zoo li qub los ntawm kev puas tsuaj rau cov khoom siv lossis cuam tshuam rau lawv cov kev ua tau zoo. |
| 2.Moisture-pov thawj: Ntim cov ntaub ntawv yuav tsum muaj cov dej noo zoo tiv thaiv corrosion thiab tsis zoo ntawm cov khoom siv hluav taws xob los ntawm cov av noo. | |
| 3.Shockproof: Cov ntaub ntawv ntim khoom yuav tsum muab cov kev poob siab zoo los tiv thaiv cov chips los ntawm kev vibration thiab cuam tshuam thaum thauj. | |
| Cia ib puag ncig | 1.Humidity Control: nruj me ntsis tswj cov av noo nyob rau hauv ib qho chaw tsim nyog los tiv thaiv cov av noo thiab corrosion los ntawm cov av noo ntau dhau los yog cov teeb meem zoo li qub los ntawm cov av qis. |
| 2.Kev huv huv: Khaws ib puag ncig kom huv si kom tsis txhob muaj kab mob ntawm cov chips los ntawm plua plav thiab impurities. | |
| 3.Kev Tswj Kub Kub: Teem lub ntsuas kub kom tsim nyog thiab tswj qhov kub thiab txias kom tsis txhob muaj kev laus zuj zus vim muaj cua sov ntau dhau los yog teeb meem condensation los ntawm qhov kub thiab txias. | |
| Kev tshuaj xyuas tsis tu ncua | Tsis tu ncua tshuaj xyuas thiab tshuaj xyuas cov chips khaws cia, siv kev tshuaj xyuas qhov muag, ntsuas qhov loj me, thiab kev ntsuas hluav taws xob los txheeb xyuas thiab daws cov teeb meem tshwm sim raws sijhawm. Raws li lub sijhawm cia thiab cov xwm txheej, npaj siv cov chips kom ntseeg tau tias lawv siv tau zoo. |
Qhov teeb meem ntawm microcracks thiab kev puas tsuaj thaum lub sij hawm wafer dicing txheej txheem yog ib qho kev sib tw tseem ceeb hauv kev tsim khoom semiconductor. Qhov kev ntxhov siab ntawm kev txiav yog qhov tseem ceeb ntawm qhov tshwm sim, vim nws tsim cov kab nrib pleb me me thiab kev puas tsuaj rau ntawm qhov chaw wafer, ua rau cov nqi tsim khoom nce ntxiv thiab txo cov khoom zoo.
Txhawm rau daws qhov teeb meem no, nws yog ib qho tseem ceeb kom txo qis kev ntxhov siab thiab siv cov txheej txheem txiav kom zoo, cov cuab yeej, thiab cov xwm txheej. Ua tib zoo saib xyuas yam xws li cov khoom siv hniav, txiav ceev, siab, thiab cov txheej txheem txias tuaj yeem pab txo qhov tsim ntawm microcracks thiab txhim kho tag nrho cov txiaj ntsig ntawm cov txheej txheem. Tsis tas li ntawd, kev tshawb fawb tsis tu ncua rau hauv kev txiav cov thev naus laus zis ntau dua, xws li laser dicing, tab tom tshawb nrhiav txoj hauv kev los txo cov teeb meem no ntxiv.
Raws li cov khoom tawg yooj yim, wafers muaj kev hloov pauv hauv cov txheej txheem thaum raug cov khoom siv hluav taws xob, thermal, lossis tshuaj lom neeg kev ntxhov siab, ua rau tsim cov microcracks. Txawm hais tias cov kab nrib pleb no tsis tuaj yeem pom tam sim ntawd, lawv tuaj yeem nthuav dav thiab ua rau muaj kev puas tsuaj loj dua li cov txheej txheem tsim khoom. Qhov teeb meem no dhau los ua teeb meem tshwj xeeb thaum lub sij hawm tom qab ntim thiab kev sim, qhov kub hloov pauv thiab cov kev ntxhov siab ntxiv tuaj yeem ua rau cov microcracks hloov mus rau qhov pom kev puas tsuaj, uas ua rau cov nti tsis ua haujlwm.
Yuav kom txo tau qhov kev pheej hmoo no, nws yog ib qho tseem ceeb uas yuav tsum tswj cov txheej txheem txiav kom zoo zoo los ntawm kev ua kom zoo dua qub xws li txiav ceev, siab, thiab kub. Siv txoj kev txiav qis qis, xws li laser dicing, tuaj yeem txo qhov kev ntxhov siab ntawm cov wafer thiab txo qhov tsim ntawm microcracks. Tsis tas li ntawd, kev siv cov txheej txheem tshuaj ntsuam xyuas zoo li infrared scanning lossis X-ray duab thaum lub sij hawm wafer dicing txheej txheem tuaj yeem pab txheeb xyuas cov kab nrib pleb thaum ntxov ua ntej lawv ua rau muaj kev puas tsuaj ntxiv.
Qhov kev puas tsuaj rau lub wafer nto yog ib qho kev txhawj xeeb tseem ceeb hauv cov txheej txheem dicing, vim tias nws tuaj yeem cuam tshuam ncaj qha rau cov nti kev ua tau zoo thiab kev ntseeg tau. Xws li kev puas tsuaj tuaj yeem tshwm sim los ntawm kev siv cov cuab yeej txiav tsis raug, tsis raug txiav tsis raug, lossis cov khoom siv tsis raug hauv lub wafer nws tus kheej. Txawm hais tias yog vim li cas, cov kev puas tsuaj no tuaj yeem ua rau muaj kev hloov pauv hauv qhov hluav taws xob tsis kam lossis capacitance ntawm Circuit Court, cuam tshuam rau kev ua haujlwm tag nrho.
Txhawm rau daws cov teeb meem no, ob lub tswv yim tseem ceeb tau tshawb nrhiav:
1.Optimizing tej cuab yeej thiab tsis: Los ntawm kev siv cov hniav ntse dua, kho qhov txiav nrawm, thiab hloov kho qhov tob, kev ntxhov siab thaum lub sij hawm txiav tuaj yeem txo qis, yog li txo qhov kev puas tsuaj.
2. Tshawb nrhiav cov cuab yeej txiav tshiab: Cov txheej txheem qib siab xws li laser txiav thiab plasma txiav muab kev ua kom zoo dua qub thaum muaj peev xwm txo qis qib ntawm kev puas tsuaj rau ntawm wafer. Cov thev naus laus zis no tau kawm los nrhiav txoj hauv kev kom ua tiav qhov raug txiav siab thaum txo qis thermal thiab mechanical stress ntawm lub wafer.
Thermal Impact Area thiab Nws cov teebmeem ntawm kev ua tau zoo
Nyob rau hauv cov txheej txheem thermal txiav xws li laser thiab plasma txiav, qhov kub thiab txias inevitably tsim ib qho thermal cuam tshuam cheeb tsam ntawm lub wafer nto. Cov cheeb tsam no, qhov twg qhov kub thiab txias gradient yog qhov tseem ceeb, tuaj yeem hloov kho cov khoom siv, cuam tshuam rau kev ua haujlwm kawg ntawm cov nti.
Qhov cuam tshuam ntawm Thermal Affected Zone (TAZ):
Crystal Structure Hloov: Nyob rau hauv qhov kub thiab txias, atoms nyob rau hauv cov khoom wafer tej zaum yuav rearrange, ua distortions nyob rau hauv lub crystal qauv. Qhov kev cuam tshuam no ua rau cov khoom tsis muaj zog, txo nws cov khoom siv dag zog thiab ruaj khov, uas ua rau muaj kev pheej hmoo ntawm nti tsis ua haujlwm thaum siv.
Hloov cov khoom hluav taws xob: Qhov kub thiab txias tuaj yeem hloov pauv cov neeg nqa khoom concentration thiab kev txav mus los hauv cov khoom siv semiconductor, cuam tshuam rau cov nti hluav taws xob conductivity thiab kev sib kis tam sim no. Cov kev hloov no tuaj yeem ua rau poob qis hauv kev ua haujlwm ntawm chip, uas ua rau nws tsis haum rau nws lub hom phiaj.
Txhawm rau txo cov teebmeem no, tswj qhov kub thiab txias thaum txiav, ua kom zoo dua qhov kev txiav, thiab tshawb xyuas cov txheej txheem xws li cua txias lossis kev kho tom qab ua tiav yog cov tswv yim tseem ceeb los txo qhov cuam tshuam ntawm thermal thiab tswj cov khoom siv.
Zuag qhia tag nrho, ob qho tib si microcracks thiab thermal cuam tshuam cheeb tsam yog cov teeb meem tseem ceeb hauv wafer dicing tshuab. Kev tshawb fawb txuas ntxiv, nrog rau kev nce qib thev naus laus zis thiab kev tswj hwm kev tswj hwm zoo, yuav tsim nyog los txhim kho cov khoom lag luam semiconductor zoo thiab txhim kho lawv cov kev sib tw ua lag luam.
Kev ntsuas los tswj lub tshav kub cuam tshuam:
Optimizing txiav txheej txheem Parameters: Txo qhov kev txiav ceev thiab lub zog tuaj yeem txo qhov loj ntawm qhov thermal impact zone (TAZ). Qhov no pab tswj tus nqi ntawm cov cua sov tsim thaum lub sij hawm txiav, uas ncaj qha cuam tshuam cov khoom ntawm lub wafer.
Advanced Cooling Technologies: Kev siv cov thev naus laus zis xws li kua nitrogen txias thiab microfluidic txias tuaj yeem txwv qhov ntau ntawm thaj chaw thermal. Cov kev ua kom txias no pab kom cov cua sov ua kom zoo dua qub, yog li khaws cia cov khoom siv wafer thiab txo qis thermal puas.
Kev xaiv khoom: Cov kws tshawb fawb tab tom tshawb nrhiav cov ntaub ntawv tshiab, xws li carbon nanotubes thiab graphene, uas muaj cov thermal conductivity zoo heev thiab lub zog txhua yam. Cov ntaub ntawv no tuaj yeem txo qhov thermal cuam tshuam cheeb tsam thaum txhim kho kev ua haujlwm tag nrho ntawm cov chips.
Hauv cov ntsiab lus, txawm hais tias qhov chaw thermal cuam tshuam yog qhov tshwm sim ntawm kev siv thev naus laus zis, nws tuaj yeem tswj tau zoo los ntawm cov txheej txheem ua haujlwm zoo thiab xaiv cov khoom siv. Kev tshawb fawb yav tom ntej yuav zoo li tsom mus rau kev kho kom zoo thiab ua kom cov txheej txheem thermal txiav kom ua tiav cov txiaj ntsig zoo dua thiab meej wafer dicing.
Balance Strategy:
Ua kom tiav qhov zoo sib npaug ntawm wafer yield thiab ntau lawm efficiency yog ib qho kev sib tw txuas ntxiv hauv wafer dicing technology. Cov neeg tsim khoom yuav tsum xav txog ntau yam, xws li kev xav tau ntawm kev lag luam, cov nqi tsim khoom, thiab cov khoom lag luam zoo, los tsim cov tswv yim tsim khoom tsim nyog thiab cov txheej txheem tsis zoo. Nyob rau tib lub sijhawm, qhia txog cov cuab yeej txiav siab, txhim kho cov neeg siv kev txawj ntse, thiab txhim kho cov khoom siv raw khoom zoo yog qhov tseem ceeb rau kev tswj hwm lossis txawm tias txhim kho cov txiaj ntsig thaum nce kev tsim khoom.
Cov Kev Sib Tw Yav Tom Ntej thiab Lub Sijhawm:
Nrog rau kev nce qib ntawm cov tshuab semiconductor, wafer txiav ntsib cov kev cov nyom tshiab thiab cov hauv kev. Raws li qhov loj me me me me zuj zus thiab kev sib koom ua ke nce, qhov kev xav tau ntawm kev txiav precision thiab kev ua tau zoo loj tuaj. Tib lub sijhawm, cov thev naus laus zis tshiab tau muab cov tswv yim tshiab rau kev txhim kho cov txheej txheem txiav wafer. Cov neeg tsim khoom yuav tsum nyob twj ywm rau kev ua lag luam kev lag luam thiab cov txheej txheem thev naus laus zis, tsis tu ncua hloov kho thiab ua kom zoo dua cov tswv yim tsim khoom thiab cov txheej txheem ua kom tau raws li kev hloov pauv kev lag luam thiab kev xav tau thev naus laus zis.
Hauv kev xaus, los ntawm kev sib koom ua ke ntawm kev xav tau ntawm kev ua lag luam, cov nqi tsim khoom, thiab cov khoom lag luam zoo, thiab los ntawm kev qhia cov cuab yeej siv siab thiab thev naus laus zis, txhim kho cov neeg siv kev txawj ntse, thiab ntxiv dag zog rau kev tswj cov khoom siv raw, cov tuam txhab tuaj yeem ua tiav qhov zoo tshaj plaws sib npaug ntawm wafer yield thiab ntau lawm efficiency thaum lub sij hawm wafer dicing. , ua rau muaj txiaj ntsig zoo thiab cov khoom lag luam zoo semiconductor ntau lawm.
Yav tom ntej Outlook:
Nrog rau kev siv thev naus laus zis sai sai, semiconductor thev naus laus zis tau nce qib ntawm qhov tsis tau pom dua. Raws li cov kauj ruam tseem ceeb hauv kev tsim khoom semiconductor, wafer txiav tshuab yog npaj rau kev tsim kho tshiab. Saib ua ntej, wafer txiav tshuab yog xav kom ua tiav qhov kev txhim kho tseem ceeb hauv kev ua tau zoo, kev ua tau zoo, thiab tus nqi, txhaj tshuaj tshiab rau hauv kev loj hlob ntxiv ntawm kev lag luam semiconductor.
Nce Precision:
Nyob rau hauv kev nrhiav kev siab dua precision, wafer txiav tshuab yuav txuas ntxiv thawb cov kev txwv ntawm cov txheej txheem uas twb muaj lawm. Los ntawm kev kawm tob txog lub cev thiab tshuaj cov txheej txheem ntawm kev txiav cov txheej txheem thiab kev tswj xyuas qhov tsis zoo, cov txiaj ntsig txiav txiav yuav ua tiav kom ua tau raws li cov txheej txheem tsim hluav taws xob ntau zuj zus. Tsis tas li ntawd, kev tshawb nrhiav cov ntaub ntawv tshiab thiab cov txheej txheem txiav yuav ua rau muaj txiaj ntsig zoo thiab zoo.
Enhancing Efficiency:
Tshiab wafer txiav cov cuab yeej yuav tsom rau kev ntse thiab kev tsim qauv. Kev taw qhia txog kev tswj hwm qib siab thiab cov algorithms yuav ua rau cov cuab yeej tuaj yeem hloov kho qhov txiav kom haum raws li cov ntaub ntawv sib txawv thiab cov qauv tsim, yog li txhim kho kev tsim khoom zoo. Kev tsim kho tshiab xws li kev siv tshuab ntau lub wafer thiab cov tshuab hloov pauv ceev ceev yuav ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev txhim kho kev ua haujlwm.
Txo cov nqi:
Txo cov nqi yog ib qho tseem ceeb ntawm kev txhim kho wafer txiav tshuab. Raws li cov ntaub ntawv tshiab thiab cov txheej txheem txiav tau tsim, cov nqi khoom siv thiab cov nqi kho mob yuav tsum tau tswj kom zoo. Tsis tas li ntawd, optimizing cov txheej txheem ntau lawm thiab txo cov nqi seem yuav txo cov khoom pov tseg thaum lub sij hawm tsim khoom, ua rau txo qis ntawm tag nrho cov nqi tsim khoom.
Smart Manufacturing thiab IoT:
Kev sib koom ua ke ntawm kev tsim khoom ntse thiab Is Taws Nem ntawm Yam (IoT) thev naus laus zis yuav coj cov kev hloov pauv hloov mus rau wafer txiav tshuab. Los ntawm kev sib txuas lus thiab cov ntaub ntawv sib koom ntawm cov khoom siv, txhua kauj ruam ntawm cov txheej txheem tsim khoom tuaj yeem raug saib xyuas thiab ua kom zoo rau lub sijhawm. Qhov no tsis yog tsuas yog txhim kho kev tsim khoom thiab cov khoom lag luam zoo tab sis kuj tseem muab cov tuam txhab nrog kev kwv yees kev lag luam kom raug thiab kev txiav txim siab txhawb nqa.
Nyob rau hauv lub neej yav tom ntej, wafer txiav tshuab yuav ua rau muaj kev vam meej nyob rau hauv precision, efficiency, thiab nqi. Cov kev nce qib no yuav ua rau muaj kev txhim kho txuas ntxiv ntawm kev lag luam semiconductor thiab coj ntau yam kev tsim kho tshiab thiab kev yooj yim rau tib neeg lub neej.
Post lub sij hawm: Nov-19-2024